根据国家纳米智造产业创新中心创新能力建设微纳加工平台建设项目环境影响评价文件等,按照建设项目环境影响评价审批程序的有关规定,我局拟对该项目环境影响评价文件作出审查。为体现公开、公正的原则,强化公众参与,现将该项目环境影响评价文件基本情况予以公示,公示期为 2024年08月 15日至 2024年08月21日(5个工作日),如有意见,请在公示期内来信或来电向我局反映。
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听证告知:依据《中华人民共和国行政许可法》第四十七条的规定,自公示之日起五个工作日内建设单位及有关利害关系人可对我局拟作出的决定提出听证申请。
项目名称 | 国家纳米智造产业创新中心创新能力建设微纳加工平台建设项目 |
建设地点 | 广东广州黄埔区 |
建设单位 | 广东纳米智造产业创新中心有限公司 |
项目概况 | 项目主要从事6英寸(硅片)纳米智能器件创新与工程验证研发平台工作,年研发6英寸及以下纳米传感器(硅片)14167片。 |
环评机构 | 广州经济技术开发区怡地工程有限公司 |
主要环境影响及预防或减轻不良环境影响的对策和措施 | 无机清洗、化学机械抛光后酸洗、湿法腐蚀等工序产生的酸性废气集中收集经碱液喷淋塔处理;干法蚀刻、化学气相沉积等工序产生的工艺废气集中收集经“POU系统+碱液喷淋塔”处理;光刻显影、化学机械抛光后碱洗等工序产生的碱性废气集中收集经酸液喷淋塔处理;有机清洗、光刻、剥离去胶等工序产生的有机废气集中收集经二级活性炭吸附处理。 |
公众参与情况 |